Mono-crystalline wafer
Lifetime ¡Ý10¦Ìs
BOW ¡Ü35¦Ìm
Resistivity 1.0-3.0&©|8486;.cm£¬3.0-6.0&©|8486;.cm
Oxygen concentration ¡Ü1.0¡Á1018 /cm3
Carbon concentration ¡Ü5.0¡Á1016/cm3
Dimension
125X125mm¡À0.5mm 156X156mm¡À0.5mm
Thickness 170¦Ìm¡¢200¦Ìm¡¢220¦Ìm¡¢240¦Ìm£¨¡À20£©
TTV ¡Ü20¦Ìm
Squareness Angle 90¡ã¡À0.2¡ã
Crystal direction <100>
Poly-crystalline wafer
Conductivity type P
Dimension
125X125mm¡À0.5mm
150X150mm¡À0.5mm
156X156mm¡À0.5mm
210X210mm¡À0.5mm Resistivity 0.5-3.0&©|8486;.cm
Lifetime ¡Ý2¦Ìs
Oxygen concentration ¡Ü1.0¡Á1018 /cm3
Carbon concentration ¡Ü5.0¡Á1016/cm3
Thickness 200¦Ìm¡À20¡¢220¦Ìm¡À20¡¢240¦Ìm¡À20
TTV ¡Ü30¦Ìm
BOW ¡Ü30¦Ìm
Saw mark ¡Ü10¦Ìm
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